Сканирующий электронный микроскоп Zeiss Supra 25
![ustanovka211-02-01](https://solar.spbau.ru/wp-content/uploads/2018/10/ustanovka211-02-01.jpg)
![ustanovka211-01](https://solar.spbau.ru/wp-content/uploads/2018/10/ustanovka211-01.jpg)
Назад
Далее
Данный микроскоп позволяет производить визуализацию и исследования микро- и наноструктур на проводящих и непроводящих подложках с высоким пространственным разрешением. Приставка Raith для уравления разверткой электронным пучком позволяет проводить электронную литографию с разрешением порядка 20 нм, в том числе на непроводящих подложках