Комплекс оборудования для нанесения оптических и электронных резистов методов центрифугирования с последующим контролируемым термическим отжигом на горячих плитках. Встроенный контроллер в установку центрифугирования позволяет задавать технологические параметры раскрутки резистов, включая, скорость, ускорение и время вращения.