Установка плазмохимического травления Oxford instruments Plasmalabsystem 100 ICP
![equipment-1_2](https://solar.spbau.ru/wp-content/uploads/2018/12/equipment-1_2.jpg)
Установка предназначена для травления полупровдниковых и диэлектрических слоев. Установка плазмо-химического травления с индуктивно связанной плазмой позволяет обеспечивать высокие скорости травления с низким уровнем радиационных дефектов. Установка имеет восемь газовых магистралей, позволяющих варьировать газовую смесь в рабочей камере. Установка снабжена загрузочным шлюзом. Вакуумная камера откачивается высокопроизводительным турбомолекулярным насосом.