Установка лазерной фотолитографии Heidelberg DWG 66FS
![ustanovka207-04-01](https://solar.spbau.ru/wp-content/uploads/2018/10/ustanovka207-04-01.jpg)
![ustanovka207-01](https://solar.spbau.ru/wp-content/uploads/2018/10/ustanovka207-01.jpg)
![ustanovka207-02-01](https://solar.spbau.ru/wp-content/uploads/2018/10/ustanovka207-02-01.jpg)
![ustanovka207-03-01](https://solar.spbau.ru/wp-content/uploads/2018/10/ustanovka207-03-01.jpg)
Назад
Далее
Лазерный генератор изображений характеризуется разрешением вплоть до 0,6 мкм и предназначен для задач НИОКР, мелко-серийного и опытного производства. Литограф используется при формировании топологических структур на металлизированных фотошаблонах при производстве интегральных схем, а также для формирования структур на пластине, при производстве структур фотоники, электроники, интегрированной оптики, биочипах и др. Для обеспечения высокоточного перемещения лазерного луча генератор оборудован оптической интерферометрической системой позиционирования подложки.