Комплекс для нанесения фото- и электронных резистов Suss Delta 6
![ustnovka230-04-01](https://solar.spbau.ru/wp-content/uploads/2018/10/ustnovka230-04-01.png)
![ustnovka231-3-01](https://solar.spbau.ru/wp-content/uploads/2018/10/ustnovka231-3-01.png)
![ustnovka231-01](https://solar.spbau.ru/wp-content/uploads/2018/10/ustnovka231-01.png)
Назад
Далее
Комплекс оборудования для нанесения оптических и электронных резистов методов центрифугирования с последующим контролируемым термическим отжигом на горячих плитках. Встроенный контроллер в установку центрифугирования позволяет задавать технологические параметры раскрутки резистов, включая, скорость, ускорение и время вращения.