Установка термического напыления Auto 500 Boc Edwards
![ustanovka217-2-01](https://solar.spbau.ru/wp-content/uploads/2018/10/ustanovka217-2-01.jpg)
![ustanovka216-01](https://solar.spbau.ru/wp-content/uploads/2018/10/ustanovka216-01.jpg)
![ustanovka217-01](https://solar.spbau.ru/wp-content/uploads/2018/10/ustanovka217-01.jpg)
Назад
Далее
Установка предназначена для вакуумного напыления металлов и диэлектрических покрытий. В установке реализован нагрев испаряемых материалов с помощью протекания тока через лодочки, а также с помощью разогрева метариала в тиглях электронной пушкой. Предусмотрена система нагрева подложек до 200°С. Контроль толщины покрытия осуществляется методом микробаланса кварцевого кристалла или с помощью оптической системы.