Настольная установка предназначена для температурной обработки и высокоскоростного отжига пластин диаметром до 76 мм. Система контроля температуры обеспечивает точное управление температурой с высокой повторяемостью в широком диапазоне температур (контроль температуры осуществляется с помощью термопары). Установка применяется для вжигания контактов к полупроводниковым структурам.