Данный микроскоп позволяет производить визуализацию и исследования микро- и наноструктур на проводящих и непроводящих подложках с высоким пространственным разрешением. Приставка Raith для уравления разверткой электронным пучком позволяет проводить электронную литографию с разрешением порядка 20 нм, в том числе на непроводящих подложках