Лаборатория возобновляемых источников энергии
При проведении исследований сотрудники лаборатории ВИЭ используют технологическое и диагностическое оборудование, располагающееся в комплексе чистых помещений Академического университета.
Установка плазмохимического осаждения Oxford instruments Plasmalabsystem 100 PECVD
Установка плазмохимического травления Oxford instruments Plasmalabsystem 100 ICP
Установка плазменной очистки Plasma Finish