Первая отечественная лабораторная система прецизионного экспонирования фотоактивных полимеров (фоторезистов) на базе оптического элемента с магнитным подвесом.
Специализация
Прецизионная 2/2.5D лазерная литография любых полимеров, чувствительных к длине волны 405 нм.
Применение
Безмасковая литография является неотъемлемой технологической составляющей для фундаментальных и прикладных исследований, разработок и производства в области микро-/ наноструктур, электроники, R&D прототипирования, мелкосерийного производства радиоэлектронных компонентов.
Программное обеспечение гибко управляет оптическим модулем и системой позиционирования, позволяя подстраиваться под геометрические особенности конкретного дизайна.
Специализированная моноблочная оптическая система в совокупности с оригинальными технико-конструкторскими решениями обеспечивают прецизионную точность и высокое качество литографии.
ОПЦИИ
✅ Шаговые/Серво-/ Линейные двигатели
✅ Климат-контроль рабочей камеры
✅ Вакуумный стол под требования заказчика
✅ Растровые преобразователи линейных перемещений
✅ Видеосистема наведения и совмещения литографий
✅ Мини-компьютер управления
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
| Длина волны лазера | 405 нм |
| Разрешение литографии | 0,5 мкм |
| Период записываемой дифракционной решетки/фактор заполнения | 0,7 мкм / 50% |
| Размер подложки | От 3х3 до 200х200 мм2 |
| Максимальная площадь экспонирования | 150х150 мм2 |
| Производительность экспонирования | 1-5 мм2/мин |
| Система автофокуса/ диапазон подстройки | Оптический автофокус / 120 мкм |
| Режим экспонирования «градации серого» | 128/256 уровней серого |
| Оптическая камера обзора для навигации по подложке и совмещения меток | 1 камера с полем зрения 0,1х01 мм2 |
| Максимальная толщина подложки | до 15 мм |
| Точность при совмещении литографий | Не хуже 1 мкм |
| Количество линейных осей перемещения | 3 |
| Рабочая скорость перемещения осей Х, Y | 10-20 мм/с |
| Дискретность перемещения по осям Х и Y | ≤ 0,3 мкм |
| Дискретность перемещения по оси Z | ≤5 мкм (грубый фокус) ≤ 0.1 мкм (точный фокус) |
| Напряжение питания | АС 100-240В, 50/60 Гц |
| Максимальная потребляемая мощность, кВт | 5 |
| Класс используемого лазерного излучения | В соответствии с международными правилами ЕN 60825-1:2007 |
| Масса | 280 кг |
КОНТАКТЫ
